石墨烯散热膜进军半导体制造设备 先进材料助力产业工艺革新
发布时间：
2026-01-16
近日，上海利物盛纳米科技有限公司在高端热管理材料领域取得重要进展，公司自主研发的高导热石墨烯散热膜产品，已正式进入国内领先半导体制造企业的制备设备中进行实际工况测试与试用。这标志着利物盛纳米在助力半导体产业自主化道路上迈出的坚实一步，也为提升先进制程的稳定性与能效提供了创新解决方案。
利物盛石墨烯散热膜具备极高的面内导热系数，同时厚度可精准调控至微米级别，兼具优异的柔韧性及化学稳定性。在半导体制造设备中，它可被精密贴合于易发热的关键部件表面，实现热量的快速横向扩散与高效导出，有助于维持工艺腔体内更均匀稳定的温度场，从而提升芯片制造的均匀性、良率及设备连续运行的可靠性。
据悉，本次试用合作紧密围绕实际产线需求展开。利物盛纳米工程师团队与半导体设备制造厂商技术专家深度协同，针对特定设备的散热难点进行定制化设计与集成测试。初步反馈显示，该石墨烯散热膜在控制温升、提升局部散热效率方面表现显著，且其超薄特性对设备原有紧凑结构适配性良好。
上海利物盛纳米科技有限公司将根据试用阶段收集的数据与反馈，持续优化产品性能与工艺适应性，并积极拓展在更多半导体制造环节中散热领域的应用探索，为半导体产业提供高效、可靠的热管理解决方案。
石墨烯散热膜为半导体制造设备带来了革命性的散热解决方案，其核心优势在于超高导热性能，轻量化特性和柔性适应性，能有效解决高功率密度产品的散热瓶颈问题。
目前，利物盛高导热石墨烯散热膜已实现规模化量产，年产量达10万平方米。
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